ASTM F1527-2002 硅电阻率测量仪校准和控制用硅标准物质和标准硅片使用的标准指南

作者:标准资料网时间:2024-05-15 10:25:04 浏览:8264 来源:标准资料网

【英文标准名称】:StandardGuideforApplicationofCertifiedReferenceMaterialsandReferenceWafersforCalibrationandControlofInstrumentsforMeasuringResistivityofSilicon
【原文标准名称】:硅电阻率测量仪校准和控制用硅标准物质和标准硅片使用的标准指南
【标准号】:ASTMF1527-2002
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:2002
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.06
【标准类型】:(Guide)
【标准水平】:()
【中文主题词】:硅;薄片
【英文主题词】:certifiedreferencematerials;controlchart;eddycurrentgage;four-pointprobemethod;mercuryprobe;referencematerials;resistivity;resistivityreferencewafer;semiconductor;sheetresistance;siliconwafers;SPC;spreadingresistancepr
【摘要】:ThisstandardwastransferredtoSEMI(www.semi.org)May20031.1ThisguidecoverstheapplicationofCertifiedReferenceMaterials(CRMs)forresistivitymeasurementsonsiliconwafers.Specifically,thisguidecoverstheuseoftheseCRMsfor
【中国标准分类号】:L40
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:15P.;A4
【正文语种】:

下载地址: 点击此处下载

返回跳至顶部

上一篇: ASTM F1618-2002 测定硅片薄膜均匀性的标准规程
下一篇: ASTM F673-2002 用无触点涡流计测量半导体单片电阻率或半导体薄膜电阻率的标准试验方法